Главная > Электроизмерительные и радиоизмерительные приборы > Измерители параметров электронных ламп и полупроводниковых приборов > 4200A-SCS

4200A-SCS система измерения параметров полупроводников

система измерения параметров полупроводников 4200A-SCSФото 4200A-SCS
Новый прибор, цена с НДС:
по запросу
Производитель: Keithley, США
Госреестр РФ: не внесен
Статус: производится
Наличие в Самаре: уточняйте у менеджеров
Обратите внимание!
  • Работаем только с юридическими лицами и ИП
  • Оплата по безналичному расчету
  • Гарантия на приборы: от 12 месяцев
  • Приборы с поверкой в наличии
  • Доставка в Самару и в другие города России
Варианты обозначения: 4200A-SCS

Описание системы измерения параметров полупроводников 4200A-SCS:

Система 4200A-SCS – универсальная система для измерения вольт-амперных характеристик I-V на постоянном токе, С-V метрии (снятие вольт-фарадных характеристик) на переменном токе и в импульсном режиме для полупроводниковых приборов и тестовых структур на пластине в полупроводниковом производстве.

Система имеет модульную многоканальную архитектуру и настраиваемую конфигурацию, поддерживая до 9 измерительных и дополнительных модулей.

Система измерения параметров полупроводников 4200A-SCS - это комплекс аппаратных и программных средств:

Назначение системы измерения параметров полупроводников 4200A-SCS:

  • Измерение ВАХ в диапазоне токов 0,1 фА до 1 А и напряжения от 1 мкВ до 210 В;
  • Измерения на переменном токе (C-V, C-f, C-t) в диапазоне до 420 В с разрешением 1 мВ, в частотном диапазоне от 1 кГц до 10 МГц;
  • Ультрабыстрое и импульсное тестирование с временным разрешением 5 нс;
  • Автоматическое переключение между режимом измерения ВАХ и CV-метрией.

Особенности системы измерения параметров полупроводников 4200A-SCS:

  • Встроенная рабочая станция на базе ОС Windows 7;
  • Сенсорный 15,6" ЖК монитор высокого разрешения (1920x1080);
  • Шасси поддерживает до 9 измерительных модулей одновременно;
  • Опционально предусилитель малых токов для модулей средней и высокой мощности;
  • Измерение вольт-фарадных (C-V) характеристик с дифференциальным смещением ±60 В и в диапазоне частот от 1 кГц до 10 МГц, а также в квазистатическом режиме и ультранизкочастотную CV-метрию;
  • Опциональное измерение высоковольтных вольт-фарадных (С-V) характеристик в диапазоне дифференциального напряжения до 400 В;
  • Интерактивная интуитивно понятная пользовательская среда тестирования (Clarius) позволяет быстро решать задачи по управлению процессом измерения и тестирования;
  • Библиотека до 450 стандартных тестов;
  • Широкий набор интерфейсов и портов: USB, SVGA, Printer, GPIB, Ethernet, mouse, Keyboard.

Измерительные модули:

Измерительные модули предназначены для снятия ВАХ на постоянном токе в четырехквадрантной области (измерение/генерация). Они устанавливаются в слоты базового блока системы 4200-SCS. На одно шасси 4200-SCS возможно установить до 9 измерительных модулей 4210-SMU или 4200-SMU.

Модули средней мощности 4200-SMU:

  • 7 токовых диапазонов для генерации и измерения: от 100 нА (полная шкала) до 100 мA (полная шкала). Разрешение: от 100 фA до 100 нA – в режиме измерения; от 5 пA до 5 мкА - в режиме генерации.
  • 4 вольтовых диапазона для генерации и измерения: от 200 мВ до 200 В. Разрешение: от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения; от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации. Максимальное выходное напряжение: 21 В при токе 100 мА; 210 В при токе 10 мА.
  • Опциональный токовый предусилитель 4200-PA расширяет токовые диапазоны дополнительно: Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.

Модули большой мощности 4210-SMU:

  • 9 токовых диапазонов для генерации и измерения: от 100 нА (полная шкала) до 1 A (полная шкала). Разрешение: от 100 фA до 1 мкA – в режиме измерения; от 5 пA до 50 мкА - в режиме генерации.
  • 4 вольтовых диапазона для генерации и измерения: от 200 мВ до 200 В. Разрешение: от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения; от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации. Максимальное выходное напряжение: 21 В при токе 1 А; 210 В при токе 10 мА.
  • Опциональный токовый предусилитель4200-PA расширяет токовые диапазоны дополнительно: Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.

Токовый предусилитель 4200-PA:

Расширяет токовые диапазоны дополнительно: 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА.

CV- метрия. Измерение вольт-фарадных характеристик:

С-V измерения в системе 4200- SCS осуществляются с помощью:

  • встраиваемой опции CV-метрии 4210-CVU;
  • опции расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-POWER;
  • квазистатическим методом CV-метрии при помощи модулей 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA;
  • новым патентованным методом ультранизкочастотной CV-метрии (10 мГц...10 Гц) при помощи модулей 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA.

Опция CV-метрии 4210-CVUможет быть установлена в систему которая уже эксплуатируется или заказана при первоначальной комплектации системы.

Встроенный C-V модуль обеспечивает C-V измерения с параметрами:

  • тестовый сигнал: частотный диапазон от 1 кГц до 10 МГц; разрешение тестового сигнала 1 кГц, 10 кГц, 100 кГц, 1 МГц в зависимости от диапазона; точность частоты ±0,1%; выходной уровень 10 мВ...100 мВ; разрешение 1 мВскз; точность±(10%+1 мВскз)
  • внутренний источник постоянного смещения: диапазон ±30 В (60 В диф.); разрешение 1 мВ; точность±(0,5%+5 мВ); максимальный ток 10 мА;
  • режим свипирования: параметры свипирования: постоянное смещение, частота, переменное напряжение; закон: линейный,пользовательский; направление: вверх, вниз; количество точек: 4096;
  • измеряемые параметры: Cp-G, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta;
  • выходные интерфейсы: 4 SMA (female).

Высокоскоростная цифровая архитектура позволяет строить графики С-V в режиме реального времени.

4210-CVU содержит широкий набор образцов программ, библиотек тестов и примеров экстракции параметров:

  • Стандартная C-V метрия: для обычных МОП-транзитовов, диодов и конденсаторов;
  • MOScap: Измерение C-V на МОП-конденсаторах;
  • MOSFET: Измерение C-V на МОП-транзисторах;
  • Время жизни: Определение скорости генерации и время жизни носителей, (график Зебрста) для МОП-конденсаторов;
  • Мобильные ионы: Определение подвижного заряда с помощью измерений на разных темепературах;
  • Емкость: Снятие характеристик как C-V так и C-f (от частоты) на МИМ (металл –изолятор –металл) конденсаторах;
  • PNjunction: Измерение емкости p n перехода или диода Шоттки как функции приложенного постоянного смещения;
  • Photo Voltaic cell: Измерение как прямой так и обратной характеристики ячеек солнечных батарей cell;
  • BJT: Измерение емкости (при нулевом смещении) между выводами биполярного транзистора (База-эммитер, База-коллектор, Эммитер-коллектор);
  • I-V/C-V с переподключением: Демонстрация с использованием измерительных модулей SMUs, опции CVU, и переключательных матриц and 707A/708A в одном проекте;
  • Емкость межсоединений: Измерение C-V малой межконтактной емкости на подложке;
  • Нанопроволоки: Проведение C-V измерений на двухвыводном приборе на базе нанопроволоки;
  • Flash: Проведение C-V измерений на типичном приборе памяти на базе плавающего затвора.

Опция расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-PWR:

  • Диапазоны измерения от 1 пФ до 1 нФ;
  • Тестовый сигнал от 100 кГц до 10 МГц (10 мВ...100 мВ);
  • Источник постоянного смещения ±200 В (400 В диф.) с разрешением 5 мВ;
  • Максимальный ток 100 мА (для 4200-SMU) или 300мА (для 4210-SMU);
  • Измеряемые параметры: Cp-Gp, DCV, временные метки;
  • Поддержка до 4-х SMU.

4200-CVU-PWR применяется для тестирования:

  • мощные устройства;
  • дисплеи;
  • LDMOS;
  • устройства памяти.

Квазистатический способ CV-метрии:

  • Два модуля 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA;
  • Низкий уровень шумов благодаря уникальному методу Ramp Rate;
  • Поддержка постоянного смещения ±200 В;
  • Библиотеки тестов.

Применяется для тестирования:

  • CMOS малой мощности;
  • некоторые типы дисплеев (индикаторов);
  • различные устройства с низким током утечки.

Ультранизкочастотная CV-метрия:

  • Два модуля 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA (частота 10 мГц...10 Гц);
  • Сверхнизкий уровень шумов;
  • Диапазон измерения от 1 пФ до 10 нФ;
  • Экстракция:Cp-Gp, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta, DCV, частота, временные метки.

Применяется для тестирования:

  • CMOS;
  • органическая электроника (OLED, OFET, OPVC);
  • устройства памяти;
  • тонкопленочные транзисторы (TFT).

Для автоматического переключения между измерениями ВАХ и CV-метри и доступен модуль 4200A-CVIV.

Кроме того, CV-метрия может быть добавлена в любой выходной канал не изменяя текущее подключение кабелей. Любой канал может быть сконфигурирован пользователем для измерений малых токов с использованием предусилителя 4200-PA или со стандартным разрешением для SMU при измерении токов - через 4200A-CVIV-SPT.

  • Входные разъемы: 4200-PA: D-Sub (male), 15 pin; 4200-CVIV-SPT: 2 триаксиальных (Female)на модуль; CVU: 4 SMA (female);
  • Выходные разъемы: 8 триаксиальных (female);
  • Выходные канал: конфигурирование от 1 до 4;
  • Максимальное напряжение 210 В;
  • Максимальный ток 1А.

Ультрабыстрое тестирование:

В системе 4200-SCS доступно два вида генераторов импульсов:

  • Генератор импульсов типа 4220-PGU;
  • Модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU.

Обе модели поддерживают:

  • Два выходных канала;
  • Стандартный (2-уровневый) импульс;
  • Segment Arb: макс. количество сегментов 2048; макс.количество последовательностей 512; длительность сегмента от 20 нс до 40 с; разрешение 10 нс;
  • Формирование сигнала произвольной формы;
  • Каждый выходной сигнал имеет два диапазона выхода: 10 В (высокий импеданс; 5 В с 50 Ω); 40 В (высокий импеданс; 20 В с 50 Ω);
  • Выходные разъемы: 4 SMA (female); 2 HDMI (только для 4225-PMU).

Модель 4220-PGU является только двухканальным генератором импульсов напряжения.

Модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU выполняет:

импульсное тестирование: генерация импульса/измерение (аналогично работе измерительных модулей);

переходная ВАХ: захват формы; интегрированные измерения тока и напряжения во времени;

импульсный генератор: двух и мультиуровневый импульс; генерация сигналов произвольной формы; генерация пользовательской формы сигнала из сегментов Segment ARB.

Модуль предусилителя/коммутатора 4225-RPM используется для автоматического переключения между измерениями ВАХ, CV-метрии и импульсными измерениями.

Данный модуль расширяет диапазон измерения 4225-PMU для работы с малыми токами.

  • Входы SMU Force, SMU Sense, CVU Pot, CVU Cur, RPM Control;
  • Входные разъемы: 2 триаксиальных (female); 2 SMA (female); 1 HDMI;
  • Выход - 1 канал;
  • Выходные разъемы: 2 триаксиальных (female).

Для ультрабыстрого тестирования NBTI/PBTI полупроводников рекомендуется опция 4200-BTI-A.

Это идеальное средство автоматического тестирования не только на уровне подложки, но и при использовании кассет.

Опция 4200-BTI-A включает в себя:

  • один модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU;
  • два модуля предусилителей/коммутаторов 4225-RPM;
  • программное обеспечение для автоматического тестирования (ACS);
  • тесты для ультрабыстрого BTI тестирования;
  • комплект кабелей.

Для проведения многоканальных измерений для системы 4200A доступно использование матричных коммутаторов: шестислотового 707B и однослотового 708B.

Программные средства:

Интерактивное программное обеспечение состоит из различных программных продуктов для обеспечения функционирования системы Keithley 4200A.

Среди них:

  • Keithley Clear Straightforward Analysis (Clarius)—интерактивный пользовательский интерфейс для 4200A-SCS;
  • Keithley User Library Tool (KULT)—поддерживает создание и интеграцию программ на языке С и другие пользовательские алгоритмы в Clarus для использования 4200A-SCS. Требуется опция 4200-COMPILER;
  • Keithley Configuration Utility (KCON)—позволяет управлять по GPIB внешними устройствами, такими как: коммутаторами, внешними измерительными модулями, источниками-измерителями, установками зондового контроля, измерителями емкости, импульсными генераторами, осциллографами;
  • Keithley External Control Interface (KXCI)—приложение для управления системой 4200A-SCS от удаленного компьютера через GPIB;
  • KPulse графический пользовательский интерфейс(GUI) предоставляет альтернативные (без программирования) возможности по конфигурированию и управлению модулями 4225-PMU и 4220-PGU. Используется для проведения быстрых тестов без взаимодействия с другими модулями и ресурсами 4200A-SCS.

Пользовательский интерфейс (Keithley Interactive Test Environment - KITE):

Что позволяет данный интерфейс?

  • Даже неопытный пользователь может сразу без помощи программиста приступить к измерениям, которые займут немного времени;
  • Новый пользовательский интерфейс Clarius позволяет осуществить выбор из библиотеки в которой более чем 450 тестов, проектов и устройств для быстрого тестирования;
  • Быстро и правильно проводить тестирование благодаря встроенной системе помощи, которая включает подробное описание тестов, схему измерения и видеоролики;
  • Быстро установить параметры тестирования минимальным количеством кликов мыши с использованием нового представления "All Parameteкs" или графического представления;
  • Анализировать и систематизировать полученные результаты и не заботиться о потере данных;
  • Clarius поддерживает измерительные функции:

> Прецизионные измерения (снятия ВАХ) на постоянном токе при помощи измерительных модулей 4200-SMU и 4210-SMU;

> CV-метрию (измерение импеданса на разных частотах): Cp-Gp (шунтирующая емкость и проводимость), Cs-Rs (последовательное сопротивление и проводимость), Cp-D (шунтирующая емкость и коэффициент потерь), Cs-D (последовательное сопротивление и коэффициент потерь), R+jX (сопротивление и реактивное сопротивление), Z-theta (импеданс и фазовый угол), DCV (смещение постоянного напряжения), частота, временные метки на 4096 точек за свипирование

> Ультрабыстрые ВАХ: одновременное измерение тока и напряжения в импульсном режиме; напряжение, ток и время одновременно оцифровываются в режиме захвата формы ( до 1 млн. точек оцифровки)

Доступны два метода экстракции параметров: формульный редактор (выполняет трансформацию данных для автоматизации обработки и экстракции данных) и встроенная крупноформатная таблица в стиле Excel

Пользователю доступны широкими возможностями масштабного управления для анализа:

  • экспорт в xls формат;
  • расширенный поиск;
  • большой набор математических функций;
  • библиотека основных тестов ВАХ;
  • библиотека тестов в области нанотехнологий
  • библиотека внешних инструментальных команд
  • встроенные тесты испытания на надежность
  • фабрично установленные константы.

Технические характеристики системы измерения параметров полупроводников 4200A-SCS:

Диапазон токаМакс.напряжениеРазрешение
(измерение)
Точность
измерения
±(% от шкалы + А)
Разрешение
(генерация)
Точность
генерации
±(% от шкалы + А)
Технические характеристики измерительных модулей
4210-SMU1 А21 В1 мкА0,100% + 200 мкА50 мкА0,100% + 350 мкА
100 мА210 В50 нА0,045% + 3 мкА5 мкА0,050% + 15 мкА
4200-SMU и 4210-SMU100 мА21 В50 нА0,045% + 3 мкА5 мкА0,050% + 15 мкА
10 мА210 В5 нА0,037% + 300 нА500 нА0,042% + 1,5 мкА
1 мА210 В500 пА0,035% + 30 нА50 нА0,040% + 150 нА
100 мкА210 В50 пА0,033% + 3 нА5 нА0,038% + 15 нА
10 мкА210 В5 пА0,050% + 600 пА500 пА0,060% + 1,5 нА
1 мкА210 В500 фА0,050% + 100 пА50 пА0,060% + 200 пА
100 нА210 В50 фА0,050% + 30 пА5 пА0,050% + 30 пА
4200-SMU и 4210-SMU с опцией 4200-PA10 нА210 В5 фА0,050% + 1 пА500 фА0,060% + 3 пА
1 н210 В1 фА0,050% + 100 фА50 фА0,060% + 300 фА
100 пА210 В300 аА0,100% + 30 фА15 фА0,100% + 80 фА
10 пА210 В100 аА0,050% + 15 фА5 фА0,500% + 50 фА
1 пА210 В10 аА1,000% + 30 фА1,5 фА1,000% + 40 фА
Диапазон напряженияДиапазон токаРазрешение
(измерение)
Точность
измерения
±(% от шкалы + А)
Разрешение
(генерация)
Точность
генерации
±(% от шкалы + А)
4200-SMU4210-SMU
200 В10,5 мА105 мА200 мкВ0,015% + 3 мВ5 мВ0,02% + 15 мВ
20 В105 мА1,05 А20 мкВ0,01% + 1 мВ500 мкВ0,02% + 1,5 мВ
2 В105 мА1,05 А2 мкВ0,012% + 150 мкВ50 мкВ0,02% + 300 мкВ
200 мВ105 мА1,05 А0,2 мкВ0,012% + 100 мкВ5 мкВ0,02% + 150 мкВ
ПараметрЗначение
Выходные разъемы (4200-SMU, 4210-SMU)3 минитриаксиальных (female: Force, Sence и Sence LO) на каждый SMU
1 D-Sub (female, 15-pin) для подключения к 4200-PA
Выходные разъемы (4200-PA)3 минитриаксиальных (female: Force, Sence и Sence LO) на каждый SMU
1 D-Sub (female, 15-pin) для подключения к 4200-PA
Шум (типичное)генерация (ток/напряжение скз) 0,01% / 0,1% от полного диапазона
измерение (ток/напряжение пик-пик) 0,02% / 0,2% от полного диапазона
Максимкальная скорость нарастания0,2 В/мкс
CV- метрия. Измерение вольт-фарадных характеристик
ЧастотаИзмеряемая емкостьС точностьG точность
10 МГц1 пФ±0,92%±590 нс
10 пФ±0,32%±1,8 мкс
100 пФ±0,29%±17 мкс
1 нФ±0,35%±99 мкс
1 МГц1 пФ±1,17%±64 нс
10 пФ±0,19%±65 нс
100 пФ±0,10%±610 нс
1 нФ±0,09%±4 мкс
100 кГц10 пФ±0,31%±28 нс
100 пФ±0,18%±59 нс
1 мкФ±0,10%±450 нс
10 нФ±0,10%±3 мкс
10 кГц100 пФ±0,31%±15 нс
1 нФ±0,15%±66 нс
10 нФ±0,08%±450 нс
100 нФ±0,10%±3 мкс
1 кГц1 нФ±0,82%±40 нс
10 нФ±0,40%±120 нс
100 нФ±0,10%±500 нс
1 мкФ±0,15%±10 мкс
Амплитудные характеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU
ПараметрИмпедансДиапазон 10 ВДиапазон 40 В
Амплитуда на выходе50 Ом - 1 МОм-10 В...+ 10 В-40 В...+40 В
50 Ом - 50 Ом-5 В...+ 5 В-20 В...+ 20 В
Точность±(0,5% + 10 мВ)±(0,2% + 20 мВ)
Разрешение50 Ом - 1 МОм< 250 мкВ< 750 мкВ
50 Ом - 50 Ом< 0,5 мВ< 1,5 мВ
Уровень шума, скз (типичное)±(0,3% + 1 мВ)±(0,1% + 5 мВ)
Выходной импеданс50 Ом50 Ом
Временные и частотные характеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU
ПараметрДиапазон 10 В
(только генерация)
Диапазон 10 В
(с измерением)
Диапазон 40 В
(только генерация)
Диапазон 40 В
(с измерением) для 4225-PMU
Частотный диапазон1 Гц...50 МГц1 Гц...8,3 МГц1 Гц...10 МГц1 Гц...3,5 МГц
Временное разрешение10 нс10 нс10 нс10 нс
Джиттер, скз (типичное)0,01% + 200 пс0,01% + 200 пс0,01% + 200 пс0,01% + 200 пс
Период20 нс...1с120 нс...1с100 нс...1с280 нс...1с
Длительность импульса10 нс...(период - 10 нс)60 нс...(период - 10 нс)50 нс...(период - 10 нс)140 нс...(период - 10 нс)
Программируемое
время перехода
10 нс...33 мс20 нс...33 мс30 нс...33 мс100 нс...33 мс
Временные и частотные характеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU
ПараметрДиапазон 10 ВДиапазон 40 В
Диапазон измерения тока10 мА200 мА100 мкА10 мА800 мА
Точность±(0,25% + 100 мкА)±(0,25% + 250 мкА)±(0,25% + 1 мкА)±(0,5% + 100 мкА)±(0,25% + 3 мА)
Шум15 мкА50 мкА75 нА5 мкА200 мкА
Измерение тока 4225-PMU с предусилителем/коммутатором 4225-RPM
ПараметрДиапазон 10 В
Диапазон измерения тока100 нА1 мкА10 мкА100 мкА1 мА10 мА
Точность±(0,5% + 1 нА)±(0,5% + 1 нА)±(0,5% + 30 нА)±(0,5% + 100 нА)±(0,5% + 1 мкА)±(0,5% + 10 мкА)
Шум200 пА2 нА5 нА50 нА300 нА1,5 мкА
Импульсные измерения 4225-PMU с 4225-RPM
Импульс/Уровень4225-PMU с 4225-RPM
Выходное напряжение-10 В до +10 В
Точность±(0,5% + 10 мВ)
Разрешение<0, 05 мВ
Базовый шум±(0,39% ± 1 мВ)скз
Измерения напряжения 4225-PMU с 4225-RPM
Параметр4225-PMU с 4225-RPM
Диапазон измерения10 В
Минимальная длительность импульса100 нс
Шум1 мВскз
Время установки100 нс

Комплект поставки 4200A-SCS

НаименованиеКоличество
1Базовый блок параметрического анализатора 4200A-SCS1

Дополнительные материалы для скачивания:

(подробное описание, сертификат, паспорт, руководство по эксплуатации, инструкция, методика поверки, формуляр, декларация соответствия)
Дополнительных материалов нет.

Отзывы покупателей из Самары

Отзывов о товаре: 0 | Добавить отзыв о 4200A-SCS

Купить 4200A-SCS в Самаре по выгодной цене, а также получить техническую консультацию Вы можете следующим образом:

1. Отправить сообщение по электронной почте info@samarapribor.ru
2. Связаться с отделом продаж по тел/факс: +7(846)243-73-36, +7(846)331-57-08
3. Viber Whatsapp: +7(962)603-73-36

Осуществляем доставку 4200A-SCS в Самару и в другие города России.

Другие позиции каталога